維修德國(guó) SINGULUS 濺鍍電源、美國(guó) MKS/ENI 濺鍍電源、ADVANCED ENERGY 、美國(guó) AE 濺鍍電源、RF 射頻電源、DC 直流電源、AC 交流電源。更專(zhuān)業(yè)的技術(shù)，更迅速的響應(yīng)高速增長(zhǎng)的等離子體薄膜制造工藝之***電源的維修。

      為了快捷、正確的解決射頻電源故障，幫助到親解決煩惱。麻煩親幫我了解清楚射頻電源的具體故障，發(fā)故障報(bào)警代碼，有故障代碼的圖片更好。比如：不能啟動(dòng)、上電無(wú)顯示，還是運(yùn)行一段時(shí)間才報(bào)，這個(gè)也是關(guān)鍵。

施耐德RF射頻電源維修檢測(cè)：

1、切斷電源，讓充電指示燈熄滅，然后檢查頂部和底部母線之間的直接短路。
2、如果您有直接短路，請(qǐng)斷開(kāi)模塊，直到短路消失。
3、如果沒(méi)有直接短路，請(qǐng)按照以下步驟操作。
4、確保測(cè)量電源模塊中的腳對(duì)腳和腳對(duì)地電壓。
5、向電源的L1，L2和L3底部提供三相輸入（400-480V AC腳對(duì)地和200-260V AC腳對(duì)地）。
6、向CX1A連接器提供200伏輸入。
7、跳出進(jìn)入PSM的CX3 / MCC電纜上三個(gè)引腳的頂部和底部引腳。
8、跳出PSM上CX4 / ESP E-Stop連接器的三個(gè)插針的頂部?jī)蓚€(gè)插針。
9、安裝并擰緊直流母線上的所有螺釘。

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